项目流程图片背景
某巨型半导体行业生产方式制造品牌在长半圆地,大部分生产方式制造晶圆和集成块。在生产方式制造的过程中,晶圆切除和抛光治理 时间段产生很多粉磨液化工废水,单日尾气减排标准量约50吨。根据化工废海里有效高酸度悬浮物物、废金属亚铁离子及有机的更改剂,真接尾气减排标准会对区域导致的非常严重危害,品牌急缺建设规划专业性治理 建筑设施。
焦化废水组成及來源
磨细液废水处理关键因素于晶圆工艺中的耐腐蚀机械厂抛光处理(CMP)工艺程序,关键环境破坏物涉及到:
漂浮小粒物
:二阳极氧化物硅、阳极氧化物铝等研磨抛光粒子,粒度分布在0.1-1μm,质量浓度高至2000mg/L。
金属件铁离子
:铜、铁、锌等,源于打磨抛光垫磨花及晶圆表明重金属层,铜铝离子渗透压约50mg/L。
无机增长剂
:分为漆层活力剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性物料
:pH值浮动大,平常在2-11之前。
外理技术过程
针对性焦化废水性质,分为“预整理+血生化+宽度整理”组装施工工艺:
调接池
:稳定水的硬度发电量,放入强酸强碱缓解pH至中性化。
混泥土放置
:添加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),消除悬屏物和氢氧化铁,沉降后SS消除率>90%。
离子液体氧化物
:所采用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解无机移除剂,COD避开率达60%。
生物技术处理
:MBR膜海洋生物反馈器进第一步挥发余量有机酸物,COD降为100mg/L以内。
化合物置换
:专属硅橡胶树脂吸附铜亚铁离子,留水铜份量<0.5mg/L。
砂滤+特异性炭滤出
:以保证有水出清亮,可达《废水综合管理排污规定》(GB8978-1996)特级规定。
决定疗效
体统正常运作动态平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
循环率达40%,剩于标准进行排污,年减小废渣进行排污1.八万吨。
补救成本费用约15元/吨,远低过互联网行业大概。