半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
内容历史背景
该中小企业的为于杭州省苏州市市,主要从事专业精致半导体设备基带芯片的封装类型測試,日排放物量废出水量约200吨。会因为加工整个过程中施用各种各样电学中和剂,废水工作工艺组分麻烦,具有高氨水浓度铜、镍等巨资属及其氯化橡胶漆硅橡胶、光刻胶等有机肥料严重有害物质。中小企业的以往工作公共设施不能满足了近期最新排放物量规范,现需加剧整改。
废渣成分表及特征
主轴电镀废气
:源头于IC芯片引脚塑料电镀工艺流程,内含铜、镍、锡等高价属阳离子,pH值浮动大。
生物碳废水处理工艺
:基本是来自于封装形式胶固有、光刻加工,具有刺激性氯化橡胶漆树酯、异丙醇、异丙醇等充分强酸强碱。
酸碱性电镀废水
:带来于晶圆洗掉和蚀刻制作工艺,所含氢佛酸、氢氧化的钾、氢氧化的钠等。
处置艺的流程
预正确处理关键期
酸碱性采和
:采用投药体统转换pH至6-9,解决后期办理的设备腐蚀不锈钢。
混凝土积累
:添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),清除透明桌面物和部件天价属。
核心思想整理时间段
初中级空气氧化
:运用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)溶解难吸附有机酸物,COD出掉率达70%不低于。
膜过滤系统
:超滤膜(UF)+反侵入(RO)组合公式新工艺,进这一步挤占血本属和溶化性有机化学物。
角度工作阶段中,
铝离子相互交换
:好一点对于铜、镍阴离子,抓实溢水血本属水分含量少于0.5mg/L。
活性氧炭吸咐
:是进而保护,彻底清除杂质少量有机质物。
之后效果好
经处里后,有水出饮用热水做到《智能电子实业水环境破坏物尾气排放标标》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,循环率改善至60%,每季度节省用热水成本费约80W。