某半导体设备厂在分娩操作过程中操作盐酸系成像液,发生高渗透压含NOx废污水,日外理量50吨。废污硫酸铜溶液含NO2-将高达2000mg/L,且含带氢化物发生器无机光刻胶含量,外理困难较多。
2. 废水处理方法因素及从何而来
显影液工作废水(一般被污染物源头)
晶圆清洁废水处理工艺
有机废气物洗衣塔排水沟
3. 处理加工步骤
主要采用"高級钝化+二级生物体办理"什么是创新加工过程:
三氧空气氧化
:使用臭氧老化情况器导致O3,将难生物降解可挥发物分析为小氧分子材料,一同将NO2-氧化的为NO3-。
生物体膜生理反应釜(MBR)
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第一次级:缺痒生态环境下加药甲醇用作碳源,有利于反反硝化作用反响
二级:好氧生物技术膜进一部生物降解有机质物
电催化进一步外理
:采用了钛基铝层探针,确认电解设备影响恢复转换多余环境固体废弃物。
4. 终究作用
NOx总氮调至8mg/L下面
COD比较稳定在30mg/L左右
生活污水工业废水处理率达60%
设备操作耗能调节在3.5kWh/吨水,较老式制作工艺节约20%。