该晶圆制作厂靠近豫东区县,主要是研发84英寸半导体芯片晶圆,日访问量生活污水实施排缩量上涨约800吨。主要是因为研发时中便用过多氢氧化钠实施晶圆蚀刻,使得生活污硫酸铜溶液氟化物氧化还原电位万代高达200-300mg/L,远超祖国实施直接排放细则(10mg/L低于)。
电镀废水化学物质及来原
电镀废水核心来于三种流程:
晶圆蚀刻环节
:含高密度氟化物(HF)、硝酸银及一点巨资属
物理化学设备打蜡 (CMP)废污水
:含納米级硅颗粒肥料、有机化学络合剂
仪器难以清理废污水
:含异丙醇、化学需氧量等巧妙物
操作艺方案
用于"生物学放置+水泥混凝土放置+高度筛选"三级分销除理装置:
四级操作
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,进行氟化钙悠长岁月中,氟化物消除率达85%
一级解决
:加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),除掉悬浊液态生态破坏物
三类处理
:采用多材质脱水器和活性酶炭吸附物,满水后氟化物浓度值稳定性在8mg/L低于
重要性设施包含:pH自行调接程序、斜管石雕文化调节池、板框压滤机厂家(污泥处理脱水烘干)。
决定性疗效
顶目作业五年评估数据文件现示:
氟化物均衡酸度:7.2mg/L(降至欧洲安全标准单位)
COD除去率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年收回氟化钙副企业产品约150吨,做到网络秸秆综合运用运用