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高硅废水怎么处理方法|高硅废水处理案例

的项目经验 上海市某半导体材料厂制作环节中一起引发高硅污废水 处理工艺处理(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟污废水 处理工艺处理(F⁻ 200-300mg/L)。两者污废水 处理工艺处理相溶时易造成氟硅酸橡胶胶体部分,传统与现代化学沉积法根本无法不稳定性不合格。項目规范要求数据同步删去硅和氟(排放出要求:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。 废液组成成分及原因 主要是基本成分 :硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇 来源地 :晶圆刻蚀废气、CMP抛光废气、产品清洗道路水 处置制作工艺具体步骤 协同工作乳浊液的阶段 : 多级反映池 : 第一个级加药系统Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃沉定; 二级加药系统PAC(整合氯化铝)提升斜管沉淀池。 固液提取时段. : 反渗透装置系統 :运用0.02μm直径膜控件虚报冒领橡胶胶体部分硅和微细沉积物。 层次脱氟时期 : 生物氧化反应铝降解塔 :残留物氟铝离子离心分离快速清理。 然后效率 出水出水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远高于欧洲国家准则。 反渗透装置机系统通量不稳在15LMH,耐腐蚀清洁期限廷长至60天。 污泥处理经压滤后含水量率<65%,可按通常固体废物处理加工。

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