的项目经验
上海市某半导体材料厂制作环节中一起引发高硅污废水 处理工艺处理(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟污废水 处理工艺处理(F⁻ 200-300mg/L)。两者污废水 处理工艺处理相溶时易造成氟硅酸橡胶胶体部分,传统与现代化学沉积法根本无法不稳定性不合格。項目规范要求数据同步删去硅和氟(排放出要求:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废液组成成分及原因
主要是基本成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来源地
:晶圆刻蚀废气、CMP抛光废气、产品清洗道路水
处置制作工艺具体步骤
协同工作乳浊液的阶段
:
多级反映池
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第一个级加药系统Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃沉定;
二级加药系统PAC(整合氯化铝)提升斜管沉淀池。
固液提取时段.
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反渗透装置系統
:运用0.02μm直径膜控件虚报冒领橡胶胶体部分硅和微细沉积物。
层次脱氟时期
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生物氧化反应铝降解塔
:残留物氟铝离子离心分离快速清理。
然后效率
出水出水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远高于欧洲国家准则。
反渗透装置机系统通量不稳在15LMH,耐腐蚀清洁期限廷长至60天。
污泥处理经压滤后含水量率<65%,可按通常固体废物处理加工。