该厂为8屏幕尺寸晶圆工作线整套搭配的超超纯水体统,每晚引发含硅废水工作150吨。废水工作中虽无高价属,但硅的含量高易积垢,且电阻值率需可达18MΩ·cm功能企业废水工作。原本工作工序不可能提供新制定的《电子无线企业水被污染物质减排规定》(GB39731-2020)专门减排最大限度。
污水组成成分优势特点
通常污染源物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、粒状硅(颗粒直径0.1-1μm)
特别规范要求
:TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L
饮用水性能指标
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅化学物质形状繁复
净化处理加工制作工艺 流程图
去创新用到"梯级膜脱离+电去阴离子"搭配制作工艺:
微滤预清理
:1μm陶瓷图片膜拦住大顆粒硅,通量稳定80LMH
铁离子相互交换不饱和树脂
:D201大孔光敏树脂选泽性溶解硅酸氧分子
二次RO软件
:一段收购 率60%,二段主要采用高脱硼膜元器件封装
EDI电去铝离子
:电压电流比热容2A/m²,持续保持弄掉残留物正离子
紫外线杀菌的
:254nm分光光度计线使用量40mJ/cm²
系统特点
开发设计专业级阻硅剂(有机的胺类挽回物),延长膜影响的周期3倍
EDI模快研发流道设计方案,硅清掉率优化至99.8%
线硅研究仪(自动测量区域0.1-500μg/L)保证优质控制
加载阶段性成果
经其次方判断:
总硅从280mg/L降落到0.05mg/L
硼分量从8μg/L降落到0.3μg/L
体系收集率从原40%加强至68%
膜换新过渡期加长至5年,年作业总成本调低35%