某半导体材料集成电路芯片手工设备厂在晶圆制作加工操作过程中，施用硅烷去硅外延性衍生，废气干洗塔发生高氨水浓度含硅污污水 。污污水 拥有pH波动性大（2-11）、硅含碳量高的优点和缺点，传统与现代治疗最简单的方法易展现硅垢堵死故障 。 废水处理工艺成份及来历 化工废水注意组成为： 容解性硅酸盐 ：SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢脱色钠 ：洗衣机清洗塔酸碱平衡洗衣机清洗液残余 粉末硅 ：微米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：制造原材料硫氰酸盐带去 办理方案方案 改革创新选用"有级中合+膜净化+蒸发掉晶粒"艺： 第一结合 ：用CaO转换pH至4-5，添加硅酸钙沉淀物，硅消除率60%。 特殊采和 ：加Na₂CO₃将pH加强至9，进一部乳浊液结余硅，串联用镁剂除砷。 反渗透装置系统化 ：0.02μm陶瓷厂家膜滤过纳米级级硅颗粒肥料，通量动态平衡在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩咖啡高盐废气，沉淀出Na₂SO₄副好产品，水中水回用率超90%。 终究实际效果 总硅从1500mg/L降落到5mg/L一下 砷硫含量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 体统无积垢运转突破2年 每季度回收并硫酸钠钠晶胞约800吨