佛山某半导体行业鑫霖环保芯片代加工生产商,晶圆代加工全过程中发生含硅、氟的个性化电镀焦化废水,规划治理 投资规模1200吨/日。电镀焦化废水的成分冗杂,包含的纳米级级硅小粒及氢佛酸,传统的治理 步骤难于不合格。
废污水有效成分及来自
包括水空气污染物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
来自道工序
:晶圆刻蚀废污水处理(45%)、CMP化学上的机械cnc精密机械加工废污水处理(40%)、机械冲洗器水(15%)
正确处理鑫霖环保流量
改革创新选择"药剂学发展+防化膜提取"方法路线地图:
钙盐悠长岁月中
:污泥脱水氯化钙清掉氟亚铁离子(导出CaF2放置)
二沉池表现
:黏结水解酸化池剂变现溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm口径膜虚报冒领微细颗粒剂
反侵入系统化
:脱盐率>98%,回收分类处理率75%
化掉心得
:浓水段实行氟化物0排放物
既定特效
氟化物酸度:<8mg/L(最低国家的二级标准规定10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水状况的造纸废水处理率:70%于冷确塔保湿
危险废弃物减轻:挥发沉渣量较以往工艺设备降低60%