半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高档次测封配置涉重污废水 ——MVR强制性再循环零排楼盘
内容游戏 背景
半导体芯片材料一个首测項目,面积150万立米/天,是首支半导体芯片材料首测设施涉重工业废渣零排項目。首测流程的镀镍、镀铜、引线结构清晰会导致含镍含铜工业废渣,物流园区标准要求"无尾水外排",产水整体中水回用于产线。
水质标准特点与困惑
焦化废水以含镍是以(浓度值10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH浮动大(2–12),还是光刻胶使用量的少许无机物。测封厂现场紧,标准要求净化处理油烟净化器征地赔偿小;零排一味着浓水没办法清运太多太多,必须要本土蒸发掉析出前馈。
治理工学艺交通路线
局部走"分质整理 → 预进行处理除杂 → 物理结晶除镍 → 净化 → UF+两极RO → MVR禁止重复化掉 → 空调蒸发器水工业废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢被钝化钠形成Ni(OH)₂析出,加个加硫钠的深度捕集器残留物镍(加硫镍Ksp比氢被钝化镍更小,能够把镍压到0.1毫克/升低于);
沉淀物中留水经多媒介过滤水程序+联防队员过滤水程序后进UF,再进两级RO,产水可以回产线清洁;
RO浓水(含盐+残渣天价属)进MVR强迫不断嵌套循环汽化器,强迫不断嵌套循环能扛高含盐结渣,汽化器预装在线免费除垢,很难堵;
MVR冷疑水回答工业废水处理多角水池,化掉残液委外焚烧处理或成为危险废弃物正确处理,一整块园区无液太外排。
要素设施设备优势之处详细说明
MVR强制性要求反复相对于普通级降膜化掉掉,反复风速高、传热系数面不要结镍盐/碳酸盐垢,适测封此种"蓄水量太大但水污染杂"的画面;合二为一化撬装来设计占地赔偿比普通化掉掉塘+多效化掉掉计划小60%之上;有害气体侧相互配套菌物滤池,把设定池和污泥处理间的有害气体提取后溶解成CO₂和水,减少测封厂紧临工作区的异味重匿名举报。
处置实际效果与效率
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《电渡严重大气污染物污染物标准化》表三;大部分150万m³/天产水中水回用于公测产线洗,替换等量新鮮水;危废处理(蒸馏残液+废水)量比传统式"悠长岁月中+污染物"模式切换减约70%。对富士康侧,公测工程项目安全运营卡点被揍通;