半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
产品背景图案
该半导体芯片中小企业处在长半圆城市,关键的生產89英尺和129英尺晶圆,日排污废容量约2000吨。会因为的生產制作工艺较为复杂,废池里含几种难吸附有机的物和高价属铁离子,普通加工方案难于足够必将按照严格的排污标。
焦化废水成份及从何而来
废液核心的来取决于四位步骤:晶圆裁切废液含多硅粉和裁切液农药残留;化学反应机械化增加光泽废液有效氢氧化铁硅和研磨设备粉末;刻蚀洗废液含氟化物、铜阴离子等天价属;光刻的工艺废液则含光阻剂等可挥发破坏物。水质检测优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物盐浓度高(200-400mg/L)、悬浮物物多且含进样器天价属。
整理工艺流量流量
采用了"有机化学预解决+生化模式解决+深度1解决"的搭配组合工序:
调整池动态平衡生活饮用水供水量
混疑水解删去浮动物和电解质溶液物料
化学式沉定法帮着加工氟化物,添加钙盐造成氟化钙沉定
油脂水解酸性反应池提生废渣可生化学性
交往氧化的池光降解巧妙被有机废气
渗透性炭吸附剂塔实行深度1处里
膜提取系统抓好冒水土质安全稳定
重视含铜废水处理方法另外设置成正离子交換设备,再利用有商业价值的塑料铜。
最终能够功效
品牌竣工后执行相对稳定,喷水COD<50mg/L,氟化物氧密度<5mg/L,铜铝离子氧密度<0.3mg/L,多种因素均相较于地区《网上鑫霖环保水生态环境污物进行排出量标准的》(GB 39731-2020)。每一年的可减小COD进行排出量约300吨,氟化物进行排出量约50吨,回收分类处理铜轻金属约2吨,建立了生态环境盈利能力与区域经济盈利能力的互利互惠。