半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
好项目背景图
该产业发展园汇聚了十余家半导体材料关联厂家,设计的日清理力量5000吨,是需要清理发源各种厂家的混合着生活污水。主要是因为各厂家生产方式工艺技术区别大,生活污水的成分更复杂变化,清理难易度较高。
废水处理方法组成成分及原因
废渣首要例如三个大类:高渗透压生物碳质废渣(光刻胶、定影液等)、含氟废渣(刻蚀制作工艺)和腐蚀性废渣(除垢制作工艺)。比较特殊成份例如异丙醇、四甲基氢腐蚀铵等难溶解生物碳质物,、氟化物、高锰酸盐指数等硅酸弄脏物。废渣COD冲击大(500-3000mg/L),氟化物渗透压100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
加工处理生产技术流量
运用"定义获取+分质处里+集中式宽度处里"的多元化模式,:
商家内部的的分类异常外理:含氟焦化废水简单自身并异常外理
居民小区管道网区分气力输送机装置
綜合设定池动态平衡土质
有级水泥混凝土悠长岁月中消除悬浮物物和氢氧化铁
高效益生物工程反应迟钝器(HBR)正确处理有机酸影响物
嗅氧崔化硫化挥发难化解生物碳物
反融入整体来脱盐外理
分光光度计线进行消毒为了确保出水量平安
很大安装了线下检测系統和自行投药系統,克服水质量起伏。
不可能成果
体统自动运行一年来,加工结果不稳定性稳定。出水量COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,高锰酸盐指数<5mg/L,总氮<15mg/L,满足水资源Ⅳ类标准规定,一部分食用于工业园区规划做绿化及加热塔保湿补水,食用率达到30%。常年变少最新鲜水食用约70万吨,为工业园区规划制造业企业最省电费数十万余万元。